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  高温控氧化涂层炉

     


       该高温抗氧化涂层炉分为沉积室和蒸发室,将基体材料(石墨或炭/炭)放置于沉积室,将前躯体(NaClZrCl4等)放入蒸发室,前驱体在蒸发室通过加热气化后,从高温连接管道进入沉积室,沉积到基体形成涂层,提高材料抗氧化能力。 

    

   技术特征

高温抗氧化涂层炉分上下双室,独立的控温区域,分别控制沉积温度和蒸发温度;

可控制蒸发室的温度,来控制涂层的速度和时间。也可在蒸发室上加装精密送粉装置,通过定量向蒸发室导入前躯体,来控制沉积的速度和时间;

采用特殊的高温联接技术,前驱体气化后在管道不冷凝,不堵塞;

高温抗氧化涂层炉配置专属密封马弗,产品产生的副产物对加热器及绝缘材料等的污染小;

高温抗氧化涂层炉配置高效尾气处理装置,环境友好,易清理。


                                             

参数\型号

AOC-0304

AOC-0406

AOC-0810

AOC-1012

沉积室尺寸

W×H×L(mm)

Φ300×400

Φ400×600

Φ800×1000

Φ1000×1200

沉积室最高温度(℃)

1800

1800

1800

1800

蒸发室最高温度(℃)

1000

1000

1000

1000

温度均匀性(℃)

±3

±5

±7.5

±7.5

沉积室加热功率(KW)

60

100

250

450

冷态极限真空度(Pa)

10Pa/5×10-3Pa

10Pa/5×10-3Pa

10Pa/5×10-3Pa

10Pa/5×10-3Pa

压升率(Pa/h)

0.5

0.5

0.5

0.5

  以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


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