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   化学气相沉积炉(沉积炭)



    化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。


  技术特征


本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2.5m×5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;

本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。


化学气相沉积炉产品规格

参数\型号

HCVD

-060609-C

HCVD

-080812-C

HCVD

-101015-C

HCVD

-121225-C

HCVD

-151530-C

HCVD

-252035-C

HCVD

-252550-C

工作区尺寸

W×H×L(mm)

600×600

×900

800×800

×1200

1000×1000

×1500

1200×200

×2500

1500×1500

×3000

2500×2000

×3500

2500×2500

×5000

装载重量(kg)

300

800

1500

2500

5000

10000

20000

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

±15

加热功率(kW)

210

360

480

600

900

1200

1600

极限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

20

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


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