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   立式化学气相沉积炉(沉积炭)



   立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。


  技术特征


n  本化学气相沉积炉根据炉膛尺寸与结构设置温区,温度均匀性好;

n  本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

n  本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

n   对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。



立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数\型号

Spec.\Model

VCVD-0305-C

VCVD-0508-C

VCVD-0812-C

VCVD-1015-C

VCVD-1218-C

VCVD-1520-C

工作区尺寸D×H(mm)

Φ300×500

Φ500×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1200×1800

Φ1500×2000

装载重量(kg)

50

150

500

1000

2000

3000

最高温度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

温度均匀性(℃)

±5

±5

±7.5

±7.5

±10

±10

加热功率(kW)

45

90

180

300

420

540

极限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

压升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。


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