可选择上装料方式或下装料方式,优先推荐选择上装料方式;
可选择地坑式布局或非地坑式布局。
可选择配置快冷系统,实现设备快速降温;
可选择配置全机视频监控系统,实时视频监控设备关键部位;
适用工艺气体:Ar或N₂,纯度≥99.999%,推荐选用Ar。
系列型号:AHIP+ 工作区直径 (mm)
详细型号:AHIP+ 工作区直径 (mm)+ 工作区高度 (mm)+ 最高温度(℃)+最高压力 (MPa)
| 尺寸等级 | 工作区直径(φ) | 工作区高度(mm) | 温度范围(℃) | 压力范围 |
| 小型(实验室) | φ100-400 | 100-600 | 900-2000 | 100-220MPa 部分定制工作压力可达 300MPa |
| 中等(中试/量产) | φ500-800 | 800-3000 | ||
| 大型(规模化生产) | φ850-1500 | 2000-4000 | ||
| 超大型(定制) | φ1600-2500 或>2500 | 2000-5000 |
