电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用智能压力调控，压力波动小；
全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好；
多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；
可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
| 参数\型号 | HCVD-060609-C | HCVD-101015-C | HCVD-121220-C | HCVD-151530-C | HCVD-152023-C | HCVD-252035-C |
|
工作区尺寸 W×H×L（mm） |
600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 1500×2000×2300 | 2500×2000×3500 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
参数\型号
VCVD-0305-C
VCVD-0608-C
VCVD-0812-C
VCVD-1120-C
VCVD-1320-C
VCVD-1520-C
工作区尺寸D×H（mm）
Φ300×500
Φ600×800
Φ800×1200
Φ1100×2000
Φ1300×2000
Φ1500×2000
最高温度（℃）
1500
1500
1500
1500
1500
1500
温度均匀性（℃）
±5/±10
±7.5/±10
±7.5/±15
±10/±15
±10/±15
±10/±20
极限真空度（Pa）
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
压升率（Pa/h）
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
加热方式
电阻/感应
电阻/感应
电阻/感应
电阻/感应
电阻/感应
电阻/感应
| 参数\型号 | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3344-C | VCVD-6660-C |
| 工作区尺寸D×H（mm） | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×4400 | Φ6600×6000 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式：手动/自动
炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡
加热器、马弗：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度号
电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)
首页
产品
服务
案例
新闻
我们
湘公网安备 43010302000744号