采用先进的控制技术,能精密控制炉内压力,炉膛内压力波动小;
采用动密封技术,能精密控制坩埚移动与旋转;
采用特殊结构设计,能有效控制籽晶位置;
采用特殊的炉胆结构和加热器布置,经温场模拟计算,能有效控制炉内温场分布;
具备柔性抽真空、炉内分压控制等功能;
采用先进的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少,
采用特殊的高温红外测量技术,控温准确,误差小。
型号/参数 | VCG-4 | VCG-6 | VCG-8 |
产品尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
最高温度(℃) | 2400-2600 | 2400-2600 | 2400-2600 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±5 | ±5 |
极限真空度(Pa) | 10-5-10-3 | 10-5-10-3 | 10-5-10-3 |
压升率(pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
结构形式:上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:内层不锈钢/全碳钢/全不锈钢
保温材质:高纯碳毡/石墨毡/固化毡
加热器:等静压石墨/金属
热电偶:C/K/N/S分度号
红外仪:单比色/双比色
适于工艺气氛:N2/Ar/H2