电阻炉可采用多温区独立控温,温度均匀性好;
电阻炉采用顶立科技专属超高温、大电流引电技术,能在高温条件下长时间稳定使用,也可采用感应加热方式;
可选配全密闭马弗室,密封效果好,抗污染能力强;
多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;
适于工艺气氛:真空/N2/Ar。
参数\型号 | VSII-060609 | VSII-101015 | VSII-121220 | VSII-151530 | ISII-0610 | ISII-1120 | ISII-1320 | ISII-1520 |
工作区尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 600×1000 | 1100×2000 | 1300×2000 | 1500×2000 |
最高温度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
温度均匀性(℃) | ±5 | ±7.5 | ±10 | ±15 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
极限真空度(Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。
结构形式:卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
炉门锁紧方式:手动/自动
炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
加热器、马弗材质:石墨/CFC
热电偶:C分度号